3、針對納米壓印光刻技術中壓印脱模後的留膜去除問題,提出了一種基於光刻版的無留膜紫外納米壓印技術。
4、納米壓印光刻技術具有效率高、失真率低、易於實現大面積圖形轉移等特點,成為下一代光刻技術的研究熱點。
2、除了半導體外,納米壓印光刻技術也有其他應用?
1、納米壓印光刻技術主要包括熱壓印、紫外固化壓印和微接觸法壓印。