1、The displacement sensor of Z axis adopts single point laser position detector PSD, and its resolution is about 10nm.
3、隨着我國工業水平的提高,對0.1μm的亞微米級和10nm納米級微步驅動技術的需求有很大的增長。
2、這些方法得到的石墨烯帶都比較寬(超過10nm),而且邊緣粗糙。