介紹微電子學中精密電阻的激光微調原理、系統組成及微調方法。
該傳感器經過激光微調,以實現高精度量程、偏移校準和温度補償,並在每個芯片上集成了應變片和薄膜電阻網絡。
提出一種採用激光微調微波陶瓷介質諧振器的方法。