介绍微电子学中精密电阻的激光微调原理、系统组成及微调方法。
该传感器经过激光微调,以实现高精度量程、偏移校准和温度补偿,并在每个芯片上集成了应变片和薄膜电阻网络。
提出一种采用激光微调微波陶瓷介质谐振器的方法。