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在觸針式
輪廓測量儀
中,*能優良的測量機構是保*觸針與被測表面之間“接觸測量”的關鍵部件。
用這種方法制造了多種探頭,將其裝在基於掃瞄隧道顯微技術(STM)的小型三維
輪廓測量儀
上。
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測量儀
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