針對偏癱病患者身體接觸面間的壓力分佈檢測,提出並研發了一種基於壓阻效應的新型非硅薄膜網格壓力傳感器。
本文敍述了採用單晶硅壓阻效應製作真空變送器的機理和關鍵工藝.給出了測量結果和結論,討論了該元件應用範圍等問題。
現已*金剛石薄膜有壓阻效應,這個*能打開了金剛石薄膜在壓力傳感器領域的應用。
利用壓阻效應、大(小)撓度理論、膜的應力形變等力學、電學知識設計了一種壓阻式微壓力傳感器。