可用它來補償人聲或樂器的鄰近效應,或降低可使樂器聲音顯得沈悶或拖泥帶水的低頻部分。
本設計把光刻規則檢查加入到設計流程中,用來優化設計規則,改善佈局更有利光學鄰近效應修正,使佈局圖形有更大的製程窗口。
一百還可用它來補償鄰近效應,或降低可使樂器聲音顯得沈悶或"拖泥帶水"的低頻部分。
本文的模擬結果不僅能為高能電子束光刻工藝優化曝光條件、降低鄰近效應提供理論指導,而且能為進一步的鄰近效應的校正提供更精確的數據。