此化學拋光工藝設備投資小，拋光液價格低、壽命長，生產成本低。
一百零介紹了該拋光液的配製，研究了温度基體材料對拋光效果的影響
開發出了弱鹼*溶液中紫銅化學拋光新工藝，確定了拋光液中的光亮劑(包括緩蝕劑和表面活*劑)。
文章論述了鋼領化學拋光的特點，通過測試數據確定了鋼領化學拋光液的成分，介紹了具體處理工藝
此外，進一步利用拋光液，金屬的表面會變的更加平滑，就如同鏡子一般
介紹了拋光液中部分組分的作用，獲得了一種拋光質量較好的拋光液。
一百主要研究了適合鋁及鋁合金的鹼*化學拋光液及拋光工藝
本文研究了不鏽鋼室温化學拋光液的組成和工藝參數。
拋光液中化學溶液的腐蝕與磨粒的機械磨削兩者雙重的作用，使得化學機械拋光能造成晶圓薄膜表面全面平坦化的效果
在三*拋光液中加八一種組合添加劑可抑制黃煙（NO_2）放出。組合添加劑由三種組分組成，其中一種吸收NO_2，另兩種為表面活*劑。
一百在拋光工藝中，拋光液的種類拋光墊的選擇拋光壓力温度拋光盤轉速加工時間等諸多條件都是決定拋光質量的重要因素
通過實驗分析，找到適合不同種類光學玻璃的拋光液類型，以有效提高拋光效率，改善拋光表面質量。
文章論述了鋼領化學拋光的特點，通過測試數據確定了鋼領化學拋光液的成分，介紹了具體處理工藝。
拋光墊表面特*能可大大改變拋光液的流動情況，從而影響化學機械拋光的拋光*能
研究了工件的上盤方法以及拋光壓力、自轉公轉速度、拋光液濃度對拋光質量的影響；
分析了W -CMP的機理，拋光液對W材料表*有化學腐蝕和機械研磨的雙重作用，對拋光速率有着重要的影響。
在拋光工藝中，拋光液的種類、拋光墊的選擇、拋光壓力、温度、拋光盤轉速、加工時間等諸多條件都是決定拋光質量的重要因素。
通過實驗發現，該拋光液對各種奧氏體不鏽鋼的拋光處理在適宜條件下均可得到滿意的拋光效果。
研究表明，拋光液膜厚度隨着拋光速度的增加而增加，增加的趨勢隨拋光轉速的提高而減緩。
水基納米金剛石拋光液可能是未來拋光液的發展方向。
本發明公開了一種化學機械拋光液，其含有溶膠型二氧化硅、速率增助劑、表面活*劑和水。
介紹了拋光液中部分組分的作用，獲得了一種拋光質量較好的拋光液
一百零研究表明，拋光液膜厚度隨着拋光速度的增加而增加，增加的趨勢隨拋光轉速的提高而減緩
一百結果表明，利用螺旋振動拋光工藝，配合自制的拋光液，拋光後製品的表*有較低的粗糙度和較好的光亮*
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