1、在渦輪分子泵的前級側充氣,能強制使碳*化合物立刻通過渦輪分子泵流入真空室。
3、在未指定時,按三菱重工業株式會社製造的渦輪分子泵配置.
2、採用渦輪分子泵與無油渦旋式真空泵組合方式,完全乾燥乾淨的高真空排氣系統。