接近式光刻中一般採用柯勒照明系統,並採用蠅眼透鏡形成多點光源均勻掩模面的光場分佈。
用於視網膜成像的眼底相機由兩部分組成,其一是具有正調焦鏡的成像光路,另一是環形的柯勒照明光路。
該光學系統分為成像系統和照明系統兩部分,並分別利用遠心光路和柯勒照明方式對其進行了詳細地設計。