3、本工作用盧瑟福背散*研究了離子束混合方法形成硅化鎢的條件。
4、觀察到氧雜質對形成條件的影響,簡單討論了離子束混合形成硅化物的機理。
2、離子束混合製備表面合金相,是一種新的材料表面處理技術。
1、可用於單離子注入,離子束混合,單離子或反應離子束濺*澱積以及離子束增強澱積。