2、採用電弧離子鍍技術在Til基體表面沉積製備了NiCrAlY塗層。
1、採用電弧離子鍍技術在IC-高温合金上沉積NiCrAlY塗層。
3、針對脈衝偏壓電弧離子鍍技術,分析了影響基體沉積温度的各項因素及其影響程度。
5、本論文採用電弧離子鍍技術,純氬氣氣氛下,在AZ合金上製備了類金剛石薄膜及鈦摻雜類金剛石薄膜。
4、重點分析了系統效率,等離子體傳輸影響因素和真空*極電弧離子鍍技術在薄膜研究和製造中的應用。