利用磁控*頻濺*技術製備了ito薄膜。
用*頻濺*的方法制備得的釓鈷膜具有垂直於膜面的單軸各向異*。
在不同的襯底温度下用*頻濺*方法制備了氮化碳薄膜。
為改善*頻濺*法制備的防水透濕塗層的外觀和拒水*,對滌綸織物基底上的濺**碳高分子膜的泛黃問題進行了研究。
在不同條件下用*頻濺*方法制備了氮化碳薄膜。
採用磁控*頻濺*法制備光波導用玻璃薄膜。