因此,在半導體行業中,必須快速、準確地對硅晶圓片導電類型、方塊電阻和電阻率進行判斷、測量和分檔。
討論了超薄金屬膜結構中泡沫厚度對吸收峯位的影響,及金屬薄膜的方塊電阻對吸收峯值的影響。
針對手提式薄膜方塊電阻測試儀在使用中容易出現的問題,進行分析研究,提出瞭解決方案,並在實驗中得到實現。